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氣體知識

前驅(qū)體介紹

作者: 百度百科 來源: 百度百科 時間:2018年12月05日
  前驅(qū)體是獲得目標產(chǎn)物之前的物質(zhì)存在形式,大多是以有機-無機配合物或混合物固體存在,也有部分是以溶膠形式存在。
  
  前驅(qū)體不是一個確切的科學術(shù)語,沒有特定的概念。也有人把它定義為目標產(chǎn)物的雛形樣品,即在經(jīng)過某些步驟就可實現(xiàn)目標產(chǎn)物的前級產(chǎn)物。
  
  前驅(qū)體不是初始原料,而可能是某些中間產(chǎn)物。
  
  舉例:ALD(原子層沉積)技術(shù)    氧化鋁Al2O3薄膜就是使用前驅(qū)體Al(CH3)3生成,(CH3)3Al + 6O2 = 0.5Al2O3+ 4.5H2O + 3CO2,我們稱三甲基鋁Al(CH3)3為氧化鋁Al2O3的前驅(qū)體。
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