
氨氣(NH3)
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詳情介紹:
氨氣(NH3) | |
化學式 | NH3 |
中文名稱 | 氨 |
英文名稱 | Ammonia |
CAS No. | 7664-41-7 |
分子量 | 17.031 |
充裝系數(shù) | 0.53kg/L |
應(yīng)用 | 高純氨氣主要用于大規(guī)模集成電路減壓或等離子體CVD,以生長二氧化硅膜。 |
產(chǎn)品純度 | ≥99.999%~≥99.9999% |

電子特種氣體
氨氣(NH3) | |
化學式 | NH3 |
中文名稱 | 氨 |
英文名稱 | Ammonia |
CAS No. | 7664-41-7 |
分子量 | 17.031 |
充裝系數(shù) | 0.53kg/L |
應(yīng)用 | 高純氨氣主要用于大規(guī)模集成電路減壓或等離子體CVD,以生長二氧化硅膜。 |
產(chǎn)品純度 | ≥99.999%~≥99.9999% |
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