鍺烷（GeH4）
化學(xué)式	GeH4
中文名稱(chēng)	鍺烷
英文名稱(chēng)	Germanes
CAS No.	7782-65-2
分子量	72.64
充裝系數(shù)
應(yīng)用	鍺是一種良好的半導(dǎo)體材料，鍺烷在電子工業(yè)中主要用于化學(xué)氣相淀積，形成各種不同的硅鍺合金用于電子元器件的制造。

　　鍺烷是通式為GenH2n+2的一系列鍺與氫的化合物的總稱(chēng)。一般來(lái)講鍺烷即指甲鍺烷，常溫下為有毒、易燃和無(wú)色的氣體，分子式GeH4。 　　 　　鍺烷為無(wú)色、劇毒、可自燃、非腐蝕性氣體。熱穩(wěn)定性差，160 ～ 180 ℃時(shí)鍺烷緩慢氧化，大約在280 ℃就能檢測(cè)到鍺烷分解為鍺和氫，在350 ℃鍺烷幾乎全部分解成單質(zhì)鍺和氫氣; 鍺烷的自催化性很強(qiáng)，一旦分解形成了金屬覆蓋膜，就會(huì)急劇分解，故其分解爆炸危險(xiǎn)性很高。鍺烷一般通過(guò)化學(xué)還原法、電化學(xué)反應(yīng)法、等離子合成法合成，在半導(dǎo)體工業(yè)上有重要的用途。 　　 　　鍺烷為劇毒、可分解爆炸物質(zhì)，因此對(duì)整個(gè)生產(chǎn)工藝流程設(shè)備材質(zhì)的選擇和處理方面有一定的難度，特別是對(duì)反應(yīng)系統(tǒng)的密閉性和尾氣的處理更應(yīng)該重視。要考慮減少?gòu)U水、廢氣排放量，并加強(qiáng)處理，含鍺烷的尾氣必須經(jīng)過(guò)無(wú)害化處理，符合排放標(biāo)準(zhǔn)方能排放。