三氯氫硅（SiHCl3-）TCS
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詳情介紹:
| 三氯氫硅（SiHCl3 ）TCS | |
| 化學(xué)式 | SiHCl3 |
| 中文名稱 | 三氯氫硅 |
| 英文名稱 | Trichlorosilane |
| CAS No. | 10025-78-2 |
| 分子量 | 135.43 |
| 充裝系數(shù) | 250kg；20000kg |
| 應(yīng)用 | 多晶硅、單晶硅原料、外延成長(zhǎng)、硅液、硅油、化學(xué)氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。 |
又稱硅氯仿，TCS。甲硅烷的三氯代物。為一種易流動(dòng)的無色液體，密度1.34克/厘米3 ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。 三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性氯化氫氣味易流動(dòng)易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險(xiǎn)，遇明火則強(qiáng)烈燃燒，燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO2．HCl和Cl2。
