硅烷（SiH4）
化學式	SiH4
中文名稱	硅烷
英文名稱	Silane
CAS No.	7803-62-5
分子量	32.118
充裝系數(shù)	0.3kg/L  (氣瓶公稱工作壓為15MPa時)
應用	硅烷在半導體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過氣相淀積制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長原料、以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽能電池、光導纖維和光電傳感器等。

　　硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。目前應用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
　　
　　硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。