磷烷（PH3）
化學(xué)式	PH3
中文名稱	磷烷
英文名稱	Phosphine
CAS No.	7803-51-2
分子量	34
充裝系數(shù)	0.2kg/L  (氣瓶公稱工作壓力為15MPa時(shí))
應(yīng)用	主要用于硅烷外延的摻雜劑，磷擴(kuò)散的雜質(zhì)源。同時(shí)也用于多晶硅化學(xué)氣相淀積、外延GaP材料、離子注入工藝、化合物半導(dǎo)體的MOCVD工藝、磷硅玻璃（PSG）鈍化膜制備等工藝中。
產(chǎn)品規(guī)格	≥99.9997%

　　磷烷具有五配位磷的有機(jī)化合物，穩(wěn)定的磷烷多為氟原子的衍生物或環(huán)狀磷酸酯。 　　 　　無(wú)色，劇毒，易燃燒氣體，帶有令人生厭的大蒜味。 　　 　　電子氣中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應(yīng)用量較大，是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的重要 N型摻雜源，同時(shí) 磷烷還用于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。 　　 　　PH3，易燃、易爆、劇毒，其毒性 數(shù)為：PEL/TLV 0.3ppm，STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，屬劇毒危害品。